XY Flexure에 의해 안내 된 Piezo 나노 포싱의 구성은 매우 정밀한 움직임, 장기 안정성 및 1500 µm로 이동합니다.
신용 사진 : PI (Physik Instrument) lp
나노 미터 조정의 정확성, 마모가없는 작업 및 순수한 자체와의 호환성은 수퍼 해상도의 현미경, 미세 컨설 니스, 빔 전달, 광학 및 광학 측정법과 같은 응용 분야에서 중요합니다. 종종 연속 24/7 작업이 필요합니다. 이러한 요구를 없애기 위해 운동 및 나노 가로의 정밀한 제어 분야의 글로벌 리더 인 PI는 XY 승객 범위가 50 µm에서 1500 µm에 위치한 Pihera XY Piezo Flexure Nanoposyer의 빠른 전달을 발표합니다. Piher 패밀리에는 극도의 선형 및 반복 운동을위한 나노-프레 여보의 나노 가격 센서가있는 60 가지가 넘는 콤팩트 X, Z 및 XY 나노 가로가 포함되어 있습니다.
진동이없는 움직임, 울트라 레이지 해상도의 성능, 빠른 응답
기계적 베어링에 의존하는 전통적인 전동 시스템과 비교하여 Flexible 굴곡에 의해 안내 된 Piezo 포지셔닝 단계는 몇 가지 주요 장점을 제공합니다. 진동없이 자유로운 움직임을 제공하고 거의 무제한 해상도를 달성하며 신속하게 응답합니다. 롤링 요소를 제외한 디자인은 럼블의 착용을 제거하여 운동의 균일 성과 균형/직선을 보장합니다. 닫힌 루프의 Pihera 정밀 XY 단계에는 절대 측정의 직접적인 측정을위한 센서가 포함되어있어 0.1 나노 미터로 해상도를 허용합니다. 이 단계에는 강성 및 연장 된 운영 수명을위한 소형 설계 최적화 된 FEA (최종 요소 분석)가 포함됩니다. Direct Metrology는 응력에 기초한 센서를 사용한 계측의 결론적 피드백보다 안정성과 선형성을 더 많이 제공합니다. 비용 효율적인 특성, 완벽한 선형 및 선택적 진공 호환성에서의 편차의 0.02%만이 이러한 소형 단계가 진동없이 마찰이 필요하고 매우 정확한 위치 지정이 필요한 앱에 적합하게 만듭니다.
지구에서 신뢰할 수있는 우주에서 테스트
구동 PI -소유자의 Picma® 다수의 Piezo 번들 -테스트 NASA/JPL은 100 억 주 사이클로 사용되며 Mars Rover -Piezo Piezo Phase에서 사용됩니다.°C 최대 80°기음.
디지털 움직임 컨트롤러
Pihera 단계는 E-727 컨트롤러에 의해 Piezo에 의해 관리 될 수 있으며, 이는 매우 정확한 나노 패시를 위해 적응 된 애플리케이션에 적응할 수있는 고급 통치 기능을 제공합니다. 디지털 서보 컨트롤 및 24 비트 해상도로 설계된이 기능은 하위 나노 미터 및 동적 성능의 정확성을 허용합니다. 제작 된 필터 및 자동 매개 변수 최적화는 고유 한 응용 프로그램을 요구하는 경우에도 우수한 안정성과 반응을 보장합니다. E-727은 Upinje USB, Ethernet 및 Spi-Zi-Zira의 시스템 통합을 통해 여러 인터페이스를 지원하며 다양한 용량 성, 응력 미터 및 파이 매싱 센서와 호환됩니다.
서비스 산업
반도체, 가구 정렬, 섬유 포지셔닝, 간섭계, 현미경, 생명 공학, 생명 과학, Med-Tech, Photonika의 계측.
원천:
PI (Physik Instrument) lp
